標準マイクロスケールの校正
（長さ・角度）

対応サービス

• JCSS対応

対象機器

一次元回折格子、二次元回折格子、標準マイクロスケール、半導体寸法標準、光学回折格子^※、回折格子形状や連続した凹凸形状を持つ各種標準スケールおよび構造体^※　など（※認定外）

校正項目

一次元回折格子または二次元回折格子のピッチ、直交度（※認定外）

校正範囲

97 nm≦L≦1000 nm

※校正の不確かさなど、詳しくは下記事業所までお問い合わせください。