標準マイクロスケールの校正
(長さ・角度)

対応サービス

  • JCSS対応
標準マイクロスケール

対象機器

一次元回折格子、二次元回折格子、標準マイクロスケール、光学回折格子、回折格子形状や連続した凹凸形状を持つ各種標準スケールおよび構造体 など(※認定外)

校正項目

一次元回折格子または二次元回折格子のピッチ、直交度(※認定外)

校正範囲

97 nm以上

※校正の不確かさなど、詳しくは下記事業所までお問い合わせください。

お問い合わせ先

東京都八王子市南大沢4-4-4
TEL : 042-679-0144 / FAX : 042-679-0187

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計測器の校正・計量器の検定

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